INVESTIGADOR(ES) PRINCIPAL(ES):

Henry Riascos Landazuri

0 horas

CODIGO CIE

3-02-3

Horas

TIPO DE CONVOCATORIA

2000. Primer Convocatoria

TIPO DE PROYECTO

Investigación Aplicada

OBJETIVO(S)

Generación de plasmas por descargas eléctricas a baja presión excitadas por radio frecuencia. La determinación de la temperatura, densidad, función de distribución de la energía electrónica de estos plasmas como función de la geometría, separación y voltaje entre los electrodos y la presión del gas.

RESUMEN

En este proyecto de investigación se trata de entender la dinámica de los plasmas generados por descargas eléctricas excitadas por radio frecuencia a baja presión. Particularmente determinar la función de distribución de energía electrónica en el plasma (FDEE), como también el proceso de formación de las "capas'', regiones de baja densidad electrónica que se forman entre superficies sólidas (electrodos) y el plasma. Los plasmas producidos por descargas eléctricas a baja presión, son sistemas que están lejos del equilibrio, como consecuencia la FDEE está lejos de ser una distribución Maxwellina y en ese sentido la evidencia ha mostrado que la temperatura electrónica es mucho más alta que la de las partículas neutras dentro del plasma. Los plasmas generados por descargas excitadas por radio frecuencias a bajas presiones, son ampliamente usados para modificación de las superficies de los materiales. Para estas aplicaciones tecnológicas es importante tener un buen control sobre el comportamiento del plasma. Así por ejemplo el flujo de iones y partículas neutras incidentes en los electrodos (el substrato) se debe conocer, como también la energía de impacto y la temperatura de los electrones.

ESTADO

Concluido

FECHA DE INICIO

01/02/2001

FECHA DE FINALIZACION

01/02/2003

PRODUCTOS